Химические сенсоры акустические волны

Более чувствительные приборы могут быть получены с помощью сенсоров на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Это достигается благодаря использованию более высоких частот. В соответствии с уравнением 7.7-12 обычно используют частоту 1 ГГц, что уменьшает определяемую массу до уровня фемтограммов. Принцип работы сенсора ПАВ объясняет рис. 7.7-14. На поверхность пьезоэлектрической подложки укладывается с помощью технологии интегральных схем набор электродов. После наложения на этот передатчик ВЧ-сигнала вдоль поверхности проходит сейсмическая волна Рэлея. Если подложка покрыта газочувствительным слоем, изменения в окружающем газе можно фиксировать, измеряя частоту. Селективность прибора определяется природой химического покрытия. [c.515]

Справочник химика 21