Физические и термодинамические свойства трихлорсилана

Наряду с трихлорсиланом и тетрахлорсиланом большой интерес представляют также хлор-, бром- и иодзаме-щенные моносилана, многие из которых являются весьма перспективными для использования в полупроводниковой технике. Поэтому в приложении приведены сводные таблицы свойств этих соединений. Ввиду того что в оригинальной литературе значения физических и термодинамических свойств даны в различных системах единиц, в сводных таблицах сохранены размерности оригинала. [c.4]