Травление полупроводниковых соединений типа

Травление полупроводниковых соединений типа . Трав- [c.285]

Этот вывод подтверждается экспериментально. Травление полупроводниковых соединений типа А В в смесях плавиковой и азотной кислот, в растворах различных окислителей (Н2О2, Ре , Се " и др.) показало, что поверхность, оканчивающаяся атомами пятой группы, отличается большей реакционной способностью, чем поверхность атомов третьей группы. Она травится в 10—20 раз быстрее, ее электродный потенциал отрицательнее. В результате поверхность В полируется, а поверхность А покрывается ямками травления, если процесс травле- [c.286]

Справочник химика 21