Справочник химика 21

Химия и химическая технология

Статьи Рисунки Таблицы О сайте English

Эллипсометрия пленок

ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ ж. Метод исследования поверхности контакта сред по параметрам эллиптической поляризации отражённого света, используемый для контроля поверхности полупроводников, измерения толщины плёнок, в исследовании коррозионных и др. процессов. [c.509]

Физическая химия поверхностей (1979) -- [ c.105 ]

ПОИСК

Смотрите так же термины и статьи:

Эллипсометрия

Эллипсометры

© 2024 chem21.info Реклама на сайте