Травление интегральных схем алюминия

Висящую сетку изготовляют, нанося полимерную пленку (полиимид или фоторезист) на тонкую (1 мкм) прямоугольную алюминиевую пластинку. Отверстия (квадраты со стороной 10 мкм) проделывают фотолитографически с последующим травлением с помощью обычных в технологии изготовления интегральных схем операций. Затем через эти отверстия алюминий вытравливают из-под сетки, после чего образуется собственно полимерная сетка, отстоящая от диэлектрика затвора примерно на [c.406]

Справочник химика 21