Травление интегральных схем мокрое

Травители используют для создания рисунка на подложках (гравирование травлением). Это наиболее ответственная операция в производстве интегральных схем. Обычно травление осуществляют мокрым способом различными кислотами — фтористоводородной, азотной, фосфорной, серной и соляной. [c.131]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология