Примеси в распылительной атмосфере

Исследовалось также применение в качестве реактивного газа при получении пленок нитрида кремния вместо азота аммиака [114]. В этом случае, в отличие от распыления в азоте, оказалось возможным добавлять в распылительную атмосферу относительно большие количества аргона, не изменяя стехиометрии получаемых пленок. Так, например, в атмосфере аргона, содержащей всего 2% аммиака, получались пленки, состоящие в основном из нитрида кремния, а для получения чистых пленок нитрида кремния в распылительной атмосфере было достаточно 5% аммиака. В противоположность этому пленки, полученные распылением мишени из кремния в атмосфере, состоящей из 5% азота и 95% аргона, были по существу из чистого кремния. Эта повышенная активность аммиака объясняется большей концентрацией ионов N при разряде в присутствии аммиака. Основной недостаток пленок нитрида кремния, полученных реактивным распылением в аммиаке, заключается в том, что они содержат примесь водорода, которая может влиять на некоторые диэлектрические свойства этих пленок. [c.442]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология