Стеклянные подложки свойства таблица

Пленки хрома получали на ситалловой (48 X 60 X 0,5 мм) и стеклянной (70 X 70 X 1 мм) подложках. Условия получения пленок из различных хроморганических соединений, а также некоторые их электрофизические свойства представлены в табл. 10-8. Температура стеклянных подложек была па 100° С выше, чем ситадловых. Как видно из таблицы, для резистин-ных элементов наилучшие свойства имеют пленки, осажденные при разложении быс-этилбензолхрома. Это соединение и было выбрано в качестве исходного при получении резистивиых элементов пленочных микросхем. [c.431]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология