Пьезокварцевый толщиномер

Данное уравнение хорошо выполняется для пленок металлов, прочно связанных с поверхностью, в широком диапазоне изменения массы (от 1 нг до 100 мкг). На этом принципе основано действие пьезокварцевых толщиномеров, которые применяются для определения толщины напыляемых пленок металлов. Для базовой частоты /о = 9 МГц коэффициент пропорциональности К составляет 0,19 Гц--см /нг. Уравнение (6.36) также хорошо выполняется для тонких (несколько нанометров) органических покрытий, монослоев и др., что позволяет взвешивать [c.323]

Справочник химика 21