Резисты, чувствительные к электронному и рентгеновскому излучению

Рис. 11.27. Чувствительность резистов к электронно-му (20 кВ) и рентгеновскому излучению

Рис. VII. 27. Чувствительность резистов к электронно-му (20 кВ) н рентгеновскому излучению Ю

РЕЗИСТЫ, ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ К ЭЛЕКТРОННОМУ И РЕНТГЕНОВСКОМУ ИЗЛУЧЕНИЮ [c.212]

Негативными резистами являются полиметакриламид [пат. США 4121936] и сополимеры метакриламида с акролеином, метакриловой кислотой, ее нитрилом или эфирами, алкиламидом, бариевыми и свинцовыми солями акриловой кислоты, винилизо-цианатом, стиролом, содержащие до 10 % этих сомономеров. Полиметакриламид нерастворим в холодной воде, но растворяется в воде с температурой выще 90 °С, оставаясь в растворе по охлаждении. При нагревании до 180—270 °С выделяется аммиак и образуются имидные группировки. Чувствительность зависит от легкости превращения амида в имид, составляя 2-10- —Ы0- Кл/см рри экспонировании электронным излучением (ускоряющее напряжение 10 кВ) и 0,01—50 Дж/см рентгеновским. Проявление осуществляют водой или водными растворами щелочей. Растворимость при проявлении можно повысить предварительным нагревом до 200 °С в течение 15 мин. Сомономер выбирают с учетом улучшения конкретных свойств. Так, акролеин повышает адгезию к подложке, винилизоцианат — чувствительность к электронному излучению, а соли тяжелых металлов акриловой кислоты — чувствительность к рентгеновскому излучению. [c.254]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология