Ультракоротковолновые разряды

Ультракоротковолновые (УКВ) плазмотроны работают на частоте 50 МГц и выше, УКВ-разряды характеризуются большими объемами плазмы (1 2 л) и низкой плотностью энергии в плазме (менее 1 Вт/см ). Для возбуждения индукционного разряда в столь больших объемах требуются многовитковые индукторы диаметром 0,1 0,12 м. Такие индукторы на частоте 10 Ч-10 Гц обладают громадным индуктивным сопротивлением, которое очень трудно согласовать с параметрами генератора. Поэтому для компенсации большой индуктивности индуктор делают из нескольких секций и в разрыв между секциями вставляют компенсирующие емкости. При этом индуктор разделяется на несколько отдельных участков, называемых гонами (отсюда индуктор — полигональный). В УКВ-плазмотроне разрядная камера помещена в полигональный индуктор (рис. 2.53). Разряды этого типа и, соответственно, плазмотроны исследованы очень мало, их возможное применение — получение больших объемов плазмы ( 1 м ) при атмосферном давлении и низкой удельной мощности. [c.108]

Рис. 2.38. Распределение разрядов по частотным диапазонам и характерные уровни мощности для разрядов различных типов 1 — трансформаторный 2 — высокочастный индукционный 3 — высокочастный емкостной 4 — ультракоротковолновый 5— сверхвысокочастотный 6— пространственный СВЧ-разряд 7 — лазерный разряд [14]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология