Генератор высокочастотной индукционной (и-Г)-плазмы, усиленный лазером

Генератор высокочастотной индукционной (и-Г)-нлазмы, усиленный лазером. Схема генератора высокочастотной индукционной (и-Г)-нлазмы, усиленного лазером, показана на рис. 10.25. Металл одиэлектрическая разрядная камера 8 помещена в индуктор 11 высокочастотного генератора 9 и закрыта сверху водоохлаждаемым фланцем 6, в котором имеются внутренние каналы 7 для тангенциального ввода иГб- В центре фланца 6 находится апертура 5 с оптикой, прозрачной для луча лазера и химически стойкой к фторсодержащей среде. Лазер 1 установлен на удалении от металло-диэлектрической разрядной камеры 8, его луч 3 поварачивается зеркалом 2 и фокусируется линзой 4 так, чтобы после прохождения через апертуру 5 фокус луча находился в плоскости высоковольтного витка индуктора И, способствуя оптическому или электрическому разряду с образованием кластера плазмы 10, который способен инициировать и поддерживать высокочастотный индукционный разряд 12 в иГе. [c.545]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология