Статистическая оценка профиля поверхности

В ряде случаев неупорядоченные профили поверхностей могут характеризоваться периодичностью, то есть повторяемостью шероховатости от одного локального положения к другому. Таким образом, хотя представительная длина профиля Ь, достаточно велика для того, чтобы провести статистическую оценку в пределах данного локального расположения, этого недостаточно для всех локальных положений профиля, если не выполняется указанное требование. [c.56]

При оценке качества поверхности подложек с помощью статистических средних значений следует помнить, что одно число может дать только очень неполное описание текстуры поверхности. Малые величины могут маскировать наличие глубоких царапин (деталь S на рис. 5), которые впоследствии могут вызвать разрывы в осажденных тонких пленках. Таким же образом в величинах RMS или АА не отражены волнистость поверхности или плоскостность, хотя оба эти свойства для фотолитографии очень важны. Наконец, оба метода имеют некоторую неопределенность, так как поверхностные профили, имеющие одинаковые амплитуды, но различные периоды, имеют одни и те же средние величины. При оценке качества профиля поверхности подложки необходимо учитывать и такие факторы, как радиус наконечника щупа (он обычно равен 1,2—2,5 мкм), который ограничивает разрещение по вертикали и различные усиления, использованные по вертикали и горизонтали. [c.510]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология