Разряд высокочастотный безэлектродный тихий

Неравновесные плазмохимические процессы протекают в газоразрядной стационарной плазме пониженного давления. Для проведения этих процессов используют тлеющий разряд на постоянном и переменном токе промышленной частоты, тихий и коронный разряды, высокочастотный и сверхвысокочастотный электродный и безэлектродный разряды, плазму, образованную быстрым адиабатическим сжатием и лазерным излучением [6, 7]. [c.174]

Неравновесные плазмохимические процессы могут протекать в газоразрядной стационарной плазме пониженного давления (тлеющий разряд постоянного и переменного тока промышленной частотой, тихий, коронный и другие типы разрядов, высокочастотный и сверхвысокочастотный электродные и безэлектродные разряды), импульсной плазме при среднем и нормальном давлениях, а также в плазме, образованной ударными волнами, быстрым адиабатическим сжатием, и под действием излучения лазера. [c.227]