Магнитно ионизационный насос МИН

Дифференциальная система откачки позволяет значительно повысить давление анализируемого газа в источнике ионов, не повышая существенно давления в камере анализатора. Баллоны 2 служат для улавливания паров ртути, попадающих из диффузионных насосов в форвакуумную систему. Конденсирующаяся ртуть стекает из баллонов обратно в насосы, В вакуумной системе используются также два магнитно-ионизационных насоса 11 (МИН ), которые отделяются от системы вентилями [c.13]

Канал измерения давления и вакуумной блокировки состоит из блока измерения давления и вакуумной блокировки в стойке аналитической части, блока автономного питания магнитно-ионизационных насосов и блока измерения давления в стойках напуска. [c.16]

Магнитно-ионизацИонный насос (рис. 78) предназначен для поддержания высокого вакуума в масс-спектрометрах в нерабочие периоды (при отключенном электропитании). Может быть использован также для дополнительной откачки во время работы масс-спектрометра. [c.95]

Некоторые устройства, входящие в состав масс-спектрометров единой серии, могут быть использованы в аналитических приборах других типов и в смежных областях техники. К таким устройствам, в частности, относятся счетчик ионов для измерения весьма малых ионных токов (до 2-10а), магнитно-ионизационные насосы, высокоэффективные источники ионов и т. д. [c.10]

Давление в форвакуумной части вакуумной системы контролируется термопарным манометром, датчики 9 к 18 которого установлены на форвакуумном баллоне и патрубке форвакуумного насоса. Высокий вакуум в источнике ионов и камере анализатора контролируется магнитно-ионизационным манометром ( с пределами измерения Ы0 — ЫО" мм рт. ст.), датчики 3 и 22 которого могут поочередно включаться в электрическую схему манометра. [c.14]

Дифференциальная система откачки позволяет получить отношение давления паров образца в ионизационной камере к давлению в анализаторе примерно 10 ООО. 1 — электростатический анализатор 2 — щель источника ионов 3 — поток газа 4 — вымораживающая ловушка 6 — насос 6 — контрольная щель 7 — магнитный анализатор 8 — щель коллектора ионов 9 — к усилителю и самописцу. [c.77]

В типичном масс-спектрометре проба вводится в вакуумную камеру в виде паров или газа. Следовательно, твердые вещества или очень высококипящие жидкости (с температурой кипения > 250°С), как правило, не могут быть подвергнуты анализу с использованием обычного масс-спектрометра. Давление внутри масс-спектрометра приблизительно в миллиард раз ниже нормального атмосферного давления, таким образом непрерывный ввод пробы при оп-1те-анализе представляет достаточно сложную техническую задачу. Для того чтобы поддержать низкое давление в масс-спектрометре без перегрузки его вакуумных насосов, необходимо использовать специальный ограничитель потока. Существует четыре способа подключения масс-спектрометра к котро-лируемым технологическим линиям капиллярный ввод, молекулярное натекание, пористая прокладка и мембранное соединение. После того как проба введена в масс-спектрометр, она ионизируется в ионизационной камере. Наиболее общий метод ионизации — ионизащя электронным ударом. Следующей стадией за ионизацией молекул пробы является разделение заряженных частиц в соответствии с их массой. Эта стадия в приборе выполняется в масс-анализаторе. Различают два основных типа масс-анализаторов, используемых в масс-спектрометрах для промышленного анализа магнитные и квадрупольные масс-анализаторы [16.4-32,16.4-33]. Магнитные анализаторы обычно дают наиболее стабильные показания. Масс-спектрометры, способные проводить измерения ионов с массой более чем 200 атомных единиц массы (а.е.м.), обычно имеют квадрупольные анализаторы, поскольку они менее дорогие и более компактные по сравнению с магнитными анализаторами. [c.661]

Другим недостатком манометра является то, что его прудно хорошо обезгазить. Этим и объясняется то, что с помощью одного только магнитного манометра не удается откачать вакуумную установку до очень высокого вакуума, несмотря на то, что сам манометр одновременно является насосом. Откачивающее действие манометра связано с адсорбцией ионов на постоянно обновляющемся слое металла на стенках манометра, возникающем вследствие распыления электродов. Поэтому магнитный электроразрядный манометр может так же, как и ионизационный манометр с горячим катодом, искажать результаты измерений. Нестабильность разряда вносит неточности в показания магнитного манометра, которые при давлении Ю- —10 мм рт. ст. примерно соответствуют 20%, что существенно больше, чем у ионизационного манометра. [c.147]

Ионно-распылительные насосы. Ионно-распылительные насосы берут начало от ионизационных манометров Пеннинга. Их функциональными элементами являются ячейки с цилиндрическим анодом, заключенным между двумя катодами (рис. 30). Эта система помещена в магнитное поле. Катоды имеют постоянный отрицательный потенциал относительно анода в несколько киловольт. Электроны, эмиттированные с поверхности катода, ускоряются электрическим полем в направлении к аноду. Магнитное поле сообщает электрону радиальную компоненту скорости и заставляет электроны двигаться по спиральным траекториям. Из-за большой длины свободного пробега электронов эффективность ионизации высока и позволяет поддерживать газовый разряд вплоть до давлений ультра-пысоковакуумного диапазона. Положительно заряженные ионы газа устремляются к катоду, где некоторая часть из них захватывается поверхностью. Поскольку ионы падают с энергиями до нескольких кэВ, они вызывают также и распыление материала катода. Распыляемый металл распространяется внутри ячейки и конденсируется на всех ее поверхностях, включая катоды. Таким образом откачка идет одновременно как за счет химического захвата молекул остаточных газов, так и за счет процессов, обусловленных наличием электрических полей. При этом хемисорбционнын захват имеет место преимущественно на внутренних поверхностях цилиндрического анода, а электронная откачка в основном происходит на катодах Используя для исследования радиоактивный криптон, Лаферти и Вандерслайс [147] показали, что геттерирование ионов происходит главным образом на периферии катода, расположенной против анодных стенок, тогда как середина катода служит источником распыляемого металла. Такая неравномерность существенна для функционирования ионного распылительного насоса, поскольку при однородном распределении ионного тока процесс непрерывного замуровывания частиц инертного газа был бы невозможен. Производительность простой разрядной ячейки Пен нинга слишком мала для откачки реальных вакуумных систем. Сущест венным шагом вперед явился ионно-распылительный насос Холла, имеющий значительно большую быстроту откачки [148]. Это достигается использованием многоячеечного анода, расположенного между двумя катодными платами (рис. 31). Эффективность многоячеечной структуры обусловлена тем фактом, что максимальный заряд, заключенный в полом [c.215]

После предварительной откачки установки насосами производится обезгаживание стеклянных деталей путем их длительного прогрева в течение нескольких часов в условиях непрерывной откачки. После этого производится обезгаживание внутренних частей ионизационных манометров путем интенсивной электронной бомбардировки при положительном потенциале коллектора ионов. Затем перекрывают металлический вентиль, отсоединяя тем самым откачиваемый объем от паромасляного насоса, после чего откачка объема производится за счет работы конизационно-го манометра. Помимо ионизационного манометра с горячим катодом для получения сверхвысокого вакуума иногда используют также откачивающее действие магнитного электроразрядного манометра специальной конструкции. [c.51]

Интенсивность основных ионных иучков является одним из наиболее чувствительных критериев давления в трубке. Тем не менее удобно, хотя и не всегда обязательно, производить самостоятельные измерения давления. Ионизационный или термоэлектрический манометры (манометр Пирани), присоединяемые к источнику ионов или к насосам, служат для указания того давления в приборе, при котором безопасно включать нить накала катода источника ионов. Применяя соответствующее реле вакуума, можно заставить ток нака.ла автоматически выключаться, как только давление в ионном источнике превысит определенную величину (это случается при авариях в напускном устройстве, когда в ионный источник входит слишком много исследуемого газа) [56]. В ряде случаев вместо ионизационных манометров, требующих при пользовании ими большой аккуратности, применяются магнитные электроразрядные манометры (типа Филипса) [39]. Можно пользоваться также компрессионным манометром Мак-Леода, который обычно располагают между насосом и ло-вушкор . [c.75]