Пленочная промышленность

Процессы ионно-лучевой обработки находят в последние годы все более широкое применение в промышленности для очистки и активации поверхности при осаждении плёнок, для прецизионного полирования поверхности, для осаждения плёнок непосредственно из пучков ионов в технологических процессах нанесения тонкопленочных проводящих и диэлектрических покрытий, алмазоподобных плёнок, плёночных композиций и др. [c.11]

Справочник химика 21