Монокристаллические подложки скалывание

Изготовители тонких пленок интересуются главным образом деталями поверхности субмикронного и микронного масштаба. Поэтому для оценки качества подложек широко используется профилографирование. Профили поверхности подложек из различных материалов приведены на рис. 7. Такие полированные монокристаллические пластины, как кремний или сапфир, и такие полированные стеклообразные материалы, как плавленый кварц, имеют однородные поверхности и дают гладкие профили (рис. 7, а). Вытянутые стекла и эмали имеют также гладкие поверхности (рис. 7,6), но на них встречаются неоднородности. Последние могут достигать 1000 А высоты и являются следствием процессов изготовления. Подложки из модифицированного боросиликатного стекла имеют тенденцию к волнистости из-за их высоких температур вытягивания и малых интервалов обработки однако отклонения от плоскости в них не превышают 12 мкм и поэтому не создают проблем. Спеченные керамические материалы, особенно окись алюминия, представляют большой интерес из-за их высоких механической прочности и теплопроводности. Профиль поверхности только что спеченной 96%-ной окиси алюминия показан на рис. 7, б. Такая шероховатость поверхности обычно неприемлема, так как превышает толщины большинства пленок. Полирование таких материалов не улучшает заметно поверхности, поскольку, по-видимому, невелико сцепление зерен, в результате чего при технологических операциях происходит их скалывание. Как показано на рис. 7, г, плоские гладкие плато в местах границ зерен сме- [c.510]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология