Профилографирование

Изготовители тонких пленок интересуются главным образом деталями поверхности субмикронного и микронного масштаба. Поэтому для оценки качества подложек широко используется профилографирование. Профили поверхности подложек из различных материалов приведены на рис. 7. Такие полированные монокристаллические пластины, как кремний или сапфир, и такие полированные стеклообразные материалы, как плавленый кварц, имеют однородные поверхности и дают гладкие профили (рис. 7, а). Вытянутые стекла и эмали имеют также гладкие поверхности (рис. 7,6), но на них встречаются неоднородности. Последние могут достигать 1000 А высоты и являются следствием процессов изготовления. Подложки из модифицированного боросиликатного стекла имеют тенденцию к волнистости из-за их высоких температур вытягивания и малых интервалов обработки однако отклонения от плоскости в них не превышают 12 мкм и поэтому не создают проблем. Спеченные керамические материалы, особенно окись алюминия, представляют большой интерес из-за их высоких механической прочности и теплопроводности. Профиль поверхности только что спеченной 96%-ной окиси алюминия показан на рис. 7, б. Такая шероховатость поверхности обычно неприемлема, так как превышает толщины большинства пленок. Полирование таких материалов не улучшает заметно поверхности, поскольку, по-видимому, невелико сцепление зерен, в результате чего при технологических операциях происходит их скалывание. Как показано на рис. 7, г, плоские гладкие плато в местах границ зерен сме- [c.510]

Для определения величины износа был принят линейный критерий — профилографирование внутренней поверхности образца НКТ. [c.183]

Для того чтобы судить о работе двигателя, необходимо каким-то образом определять в процессе его работы зависимость износа деталей от условий работы. При обычно применяемых методах оценки износа (микрометраже, взвешивании, профилографировании, нанесении отпечатко)з алмазной пирамидой и т. д.) двигатель необходимо разобрать, что лишает возможности получить непрерывную кривую износа его поверхностей трения. [c.3]

Для определения содержания различных металлов в работавшем масле широко применяют (особенно за рубежом) метод эмиссионного спектрального анализа. Этот метод обладает высокой чувствительностью, требует мало времени и позволяет определять содержание всех металлов, используемых в машиностроении. В последние годы его стали успешно применять для оценки износа и технологического состояния двигателя [1] и для определения необходимости его ремонта. При этом исключается разборка двигателя, которая требуется для оценки состояния двигателя методами микрометрирования, взвешивания, профилографирования и др. [c.397]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология