Непроводящих поверхностей локальный анализ

В ближайшие годы эффективным средством исследования тонких слоев проводящих и непроводящих твердых тел, видимо, станет масс-спектрометрия с ионной бомбардировкой поверхности. Важное достоинство метода ионного микрозонда — оз.можность осуществления как послойного [23], так и локального [16, 17, 24] анализа с высоким пространственным разрешением. После того как будет преодолена трудность количественного определения примесей [25—27], масс-спектрометрия с ионной бомбардировкой, позволяющая анализировать слои про- [c.157]