Динамическая эпитаксия

Репродукционная эпитаксия может проходить в статическом, динамическом и комбинированном режимах. Статическая эпитаксия, при которой источник неподвижно расположен относительно подложки,— сэндвич-метод в его традиционном нснол-неннн. Динамическая эпитаксия, нри которой источник находится в движении относительно подложки, позволяет изготовлять многослойные периодические структуры, состоящие из слоев заданной толщины и химического состава. [c.170]

Справочник химика 21