Метод репродукционной эпитаксии

Следует отметить, что эпитаксиальные структуры, выращенные сэндвич-методом , достаточно хорошо воспроизводят контуры источника. На основе этого метода разработан метод репродукционной эпитаксии, не содержащий недостатков сэндвич-метода и позволяющий получать монокристаллические структуры с упорядоченной объемной неоднородностью состава и свойств. В основе этого метода лежат три основных принципа [c.169]

Репродукционная эпитаксия может проходить в статическом, динамическом и комбинированном режимах. Статическая эпитаксия, при которой источник неподвижно расположен относительно подложки,— сэндвич-метод в его традиционном нснол-неннн. Динамическая эпитаксия, нри которой источник находится в движении относительно подложки, позволяет изготовлять многослойные периодические структуры, состоящие из слоев заданной толщины и химического состава. [c.170]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология