Линареса установка

Первые ферритовые пленки, выращенные методом газофазной эпитаксии, характеризовались значительной концентрационной неоднородностью по толщине, что обусловлено различиями в давлениях насыщенных паров галогенидов, находящихся при одинаковой температуре. Позже Линаресом создана установка, обеспечивавшая разделение пространств с различными хлоридами. Пары воды и кислород доставлялись непосредственно в зону образования феррита (феррограната). Пространства с парами РеС1з и С1з были изолированы в них поддерживались разные температуры РеСЦ —330°С С1з— 1050°С. Образование феррита происходило в зоне с температурой 1100°С. Газом-носителем являлся аргон в смеси с хлороводородом. Другие модификации этого метода в основном сводятся к достижению условий более полного разделения паров хлоридов. [c.168]

Справочник химика 21