Теория химических равновесий в технологии полупроводников

Рассмотрена роль химической термодинамики в развитии технологических процессов микроэлектроники, разработке гибких технологий. Подробно изложены основные вопросы теории и практики компьютерного моделирования химических и фазовых равновесий. Описаны методы исследования полупроводниковых расплавов, применение р-Т -х-диаграмм для управляемого синтеза бинарных полупроводниковых систем, тройных магнитных полупроводников. [c.504]

Справочник химика 21