Чистая комната с вертикальным ламинарным потоком воздуха

Рис. 3. Чистые комнаты с неламинарным потоком воздуха (а), с горизонтальным ламинарным потоком воздуха (6) и с вертикальным ламинарным потоком воздуха (в)

Воздух, непрерывно поступающий в чистую комнату, должен очищаться фильтрами НЕРА, которые представляют собой мелкопористые листы, изготовленные из очень тонкого (< 1 мкм в диаметре) стекловолокна или стекловолокна с асбестовым волокном. Эффективность стандартных фильтров НЕРА не менее 99,97% для частиц диаметром 0,3 мкм. Промышленностью выпускаются фильтры НЕРА, имеющие эффективность 99,99% по отношению к частицам диаметром 0,1 мкм. На рис. 3 показано три варианта чистых комнат, классифицированных по направлению движения потока воздуха. Скорость потока воздуха у поверхности фильтра составляет 20-50 см с . Большая часть воздуха в комнате циркулирует. При необходимости в комнату подают дополнительно воздух. Федеральным стандартом США № 209а предусмотрены чистые комнаты класса 100, т.е. в 1 куб. футе (5 28 л) воздуха должно содержаться не более 100 частиц диаметром более 0,5 мкм и менее 5 мкм, что достигается в наиболее дорогостоягцих комнатах с вертикальным ламинарным потоком воздуха. В воздухе комнат класса 100 наибольшее число составляют частицы диаметром менее [c.22]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология