Градуировка вакуумметров и газоанализаторов

ГРАДУИРОВКА ВАКУУММЕТРОВ И ГАЗОАНАЛИЗАТОРОВ [c.223]

После установки рабочего режима газоанализатора проводится его градуировка, заключающаяся в определении чувствительности прибора к разным газам. В систему с датчиком газоанализатора последовательно напускают ряд известных газов. При нескольких значениях давления впущенного газа определяется чувствительность— отношение приращения выходного сигнала газоанализатора к соответствующему приращению давления данного газа. Давление газа в диапазоне — 10" Па наиболее удобно определять по ионизационному вакуумметру. Определив указанным образом среднюю чувствительность масс-спектрометрического газоанализатора по одному газу, можно (см. приложение 10) подсчитать его ориентировочную относительную чувствительность для некоторых других газов. [c.219]