Получение диффузионных масок разложением МОС

Наиболее удобным методом получения окисных покрытий, и в частности двуокиси кремния, используемой в качестве диффузионной маски, является метод термического разложения алкоксисиланов. В работе [103] исследовано легирование германия с применением диффузионных масок, получаемых пиролизом алкоксисиланов. Пары алкоксисиланов в токе газа-носителя (аргона) подавали в кварцевую трубку, куда помещали германиевые пластины. Пиролиз проводили при 700° С толщина образующегося покрытия двуокиси кремния зависела от продолжительности проведения процесса. Обслуживание оборудования для нанесения защитных слоев двуокиси кремния очень просто, и требуется лишь периодическая очистка внутренней поверхности кварцевой трубы от осаждающегося осадка Si02 промыванием 25%-ной фтористоводородной кислотой. В качестве источников для получения двуокиси кремния был использован ряд алкоксисиланов (см. гл.8). Все они образуют при термическом разложении однородные плотные окисные покрытия, однако было найдено, что труднее получаются удовлетворительные пленки из соединений, в которых имеется менее трех атомов кис-.лорода в молекуле. [c.426]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология