Полибутадиен с этилакрилатом

Гомополимер глицидилметакрилата является одним из самых чувствительных негативных резистов (D Mw = 0,023). Его широкому использованию препятствует низкий коэффициент контрастности (v si 1,0), причиной чего является цепной характер сшивания, а термическая стабильность рельефа (Тс полимера 78°С) и стойкость к плазменному травлению у резиста удовлетворительные Добавки низкомолекулярных эпоксидов, например циклогексил-эпоксида, вводимые в концентрациях от 5 до 30 % в полистирол или полибутадиен, повышают чувствительность в 3 раза [франц. пат. 2250138 пат. США 3916035]. Сополимеры 2,3-эпптиопропил-метакрилата с эфирами акриловой и метакриловой кислоты, например метилметакрилатом, бутилметакрилатом, этилакрилатом, [c.250]

Добавки низкомолекулярных эпоксидов, например циклогексил-эпоксида, вводимые в концентрациях от 5 до 30 % в полистирол или полибутадиен, повышают чувствительность в 3 раза [франц. пат. 2250138 пат. США 3916035]. Сополимеры 2,3-эпитиопропил-метакрилата с эфирами акриловой и метакриловой кислоты, например метилметакрилатом, бутилметакрилатом, этилакрилатом, [c.250]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология