Кремний, гидриды его как загрязнения углеводородов

Анализируя результаты расчетов, можно сделать вывод, что гидриды германия и кремния, а также германий и кремний могут активно взаимодействовать с газообразными микронримесями и тем самым загрязнять получаемые германий и кремний. Наличие на новерхности кремния нитрида или окисла кремния изменяет положение энергетических уровней акценторных и донор[1ых примесей [6]. Для исключения загрязнения кремния и германия их соединениями необходимо особое внимание уделять очистке германа и силана от гидридов других элементов, кислорода, азота, углеводородов, углекислого газа и воды. [c.10]

Справочник химика 21