Газофазное осаждение осаждение металлов из газовой фазы

В огранич. масштабах В. получают восстановлением его гексагалогенидов, гл. обр. WPg, водородом. При проведении процесса в газовой фазе в потоке получают высокодисперсные порошки, в кипящем слое-крупные сферич. гранулы размером 200-500 мкм. Последние превращают в компактные заготовки горячим газостатич. прессованием. Способ получения изделий восстановлением WF (получивший название газофазное формование) заключается в осаждении В. из газовой фазы в виде плотного покрытия на нагретых до 600-700 °С подложках из др. металлов или графита. Методом бестигельной зонной плавки спеченных штабиков получают монокристаллы В., отличающиеся высокой чистотой и пластичностью. [c.419]

Справочник химика 21