Ловушки охлаждаемые быстрота откачки

Во всех камерах линии поддерживается рабочий вакуум около Ы0 мм рт. ст. Откачка линии осуществляется четырьмя паромасляными насосами с быстротой действия каждого насоса 4 000 л1сек (один насос на две камеры) и двумя механическими насосами с быстротой действия каждого насоса 3 л/сек, причем один механический насос работает на два паромасляных насоса. Каждый паромасляный насос имеет две ловушки. Нижняя ловушка, распололсенная непосредственно над горловиной насоса, имеет водяное охлаждение, верхняя ловушка охлаждается фреоном. При этом каждая ловушка охлаждается при помощи индивидуальной двухступенчатой холодильной машины (на рисунке не показана). Паромасляные насосы подсоединяются к камере через тарельчатые вентили, имеющие уплотнения из витона. [c.299]

Ловушки и отражатели. Задержка молекул пара, проникающих в вакуумную камеру, должна быть достигнута без чрезмерного ограничения потока откачиваемого газа. При достаточно больших величинах быстроты откачки современных насосов ее снижение даже на 50% из-за уменьшения проводимости впускного отверстия допустимо. Для улучшения коденсации паров соответствующие улавливающие конструкции нередко охлаждают. На рис. 8 показана проходная стеклянная ловушка со спиральной гофрированной медной фольгой, сочетающая в себе относительно высокую проводимость с большой площадью внутренней поверхности и, следовательно, с большой эффективностью из-за частых столкновений молекул со стенками. Она без охлаждения достаточно эффективно задерживает пары масла и в небольших стеклянных системах позволяет поддерживать давление 10 мм рт. ст. [43]. На рис. 9 представлена схема ловушки для цельнометаллических систем с внутренним сосудом для жидкого азота. Ее недостатком является возможность конденсации жидкости на неохлаж-даемой стенке, откуда масло может мигрировать в вакуумную систему и снова испаряться. Эта опасность уменьшена в ловушке Дьюара с экраном (рис. 10), в которой охлаждаются все стенки. Скорости поверхностной миграции и повторного испарения при температуре жидкого азота пренебрежимо малы. [c.189]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология