Источник ионов дуоплазматрон

Пучок ионов генерируется при помощи дуоплазматрона (например, ионы Оз, 0 или Аг+ генерируются при помощи электрического разряда в камере, продуваемой соответствующим газом) или жидкостного источника ионов металлов (например, ионы Се генерируются при термическом испарении и ионизации). Пучок ионов фокусируется на поверхность образца. Диаметр первичного пучка обычно составляет от 100 нм до нескольких сотен мкм. При бомбардировке образуются вторичные ионы, которые вытягиваются потенциалом 4500 В и направляются на входную щель электростатического анализатора [c.360]

В качестве источника ионов применялся дуоплазматрон, который давал стабильный моноэнерге-тический пучок ионов большой ин- [c.82]

Справочник химика 21