Тантал нитрид

Тантал мононитрид см. Тантал нитрид [c.456]

Особенно сильно проявляется влияние остаточных газов и в первую очередь кислорода, паров воды и углекислого газа на характеристики тонких пленок, используемых в качестве сверхпроводников. Не менее чувствительны к воздействию этих газов сверхпроводящие пленки из индия, ниобия, ванадия, тантала, карбида тантала, нитрида тантала и нитрида ниобия. [c.83]

Тантал монокарбид см. Тантал карбид Тантал мононитрид см. Тантал нитрид Тантал нитрид [c.432]

Тантала монокарбид см. Тантала карбид Тантала мононитрид см. Тантала нитрид [c.468]

Нитриды ванадия, ниобия п тантала. Нитриды переходных металлов [c.299]

К нагретому до 90°С раствору, содержащему 9/10 частей 30%-ного NaOH или КОН, добавляется 1/10 части 30—35-ной перекиси водорода. Эта смесь травит тантал, нитрид тантала, окись тантала со скоростью 1000—2000 А мин-. Однако она взаимодействует также и с фоторезистом, поэтому в дополнение к фоторезистам применяются металлопленочные маскирующие покрытия, например, золото. [c.611]

Нитриды тантала. Нитрид тантала, ТаЛ, выделяют нагреванием порошкообразного металлического тантала в смеси азота с водородом (без доступа кнслорода или паров воды), сильным нагреванием ТэзКдВ газообразном NH3, пропусканпем смеси паров Ta lg с азотом и небольшим количеством водорода над нагретой до 2500—2800° вольфрамовой проволокой. [c.213]

Обладая высокой термической и химической стабильностью, пленки тантала, нитрида тантала и двойной системы TaN/Ta предотвращают диффузию атомов меди в слои оксида и нитрида кремния, а также в слои диэлектриков с НДП и УНДП и обеспечивают хорошую адгезию как к диэлектрической изоляции, так и к медной металлизации [46]. [c.168]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология