Тантала окись

К нагретому до 90°С раствору, содержащему 9/10 частей 30%-ного NaOH или КОН, добавляется 1/10 части 30—35-ной перекиси водорода. Эта смесь травит тантал, нитрид тантала, окись тантала со скоростью 1000—2000 А мин-. Однако она взаимодействует также и с фоторезистом, поэтому в дополнение к фоторезистам применяются металлопленочные маскирующие покрытия, например, золото. [c.611]

Окись тантала — окись магния — кремневая кислота 400—425° С, одноступенчатый процесс. Выход 56% теорет. (при двухступенчатом — 64%) [240] [c.562]

Тантал—окись стронция (Та—SrO) 1,3 -- [c.86]

Тантал—окись бария (Та—ВаО) То же 1,15 1,3—1,0 — [c.86]

Тантал-окись кремния, [c.404]

Tantalpentoxyd n пятиокись тантала, окись тантала(5), оксид тантала ), ТагОб- [c.392]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология