Остаточных газов анализаторы принципы действия

Принцип работы всех масс-спектрометрических преобразователей, устанавливаемых непосредственно на испытуемом высоковакуумном объекте, основан на детектировании ионов остаточного газа, число которых пропорционально его концентрации. В масс-спектрометрических преобразователях молекулы анализируемого газа ионизируются в ионном источнике. Образовавшиеся положительные ионы вытягиваются из камер ионизации, фокусируются в параллельный пучок и направляются в масс-спектрометрический анализатор, где под действием электрического или магнитного полей разделяются в пространстве (или во времени) по характерному для них отношению массового числа М к его заряду е. После разделения ионы с определенным М, на которое настроен масс-спектрометр, попадают на коллектор и создают в его цепи силу тока, пропорциональную парциальному давлению соответствующего газа. [c.77]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология