Проникновение атмосферных газов через стенки вакуумных систем

Как уже отмечалось, создание вокруг изделия 15 области с пониженным давлением (откачка по системе вакуум в вакууме ) предотвращает окисление внешней поверхности при нагреве изделия во время его обезгаживания и значительно снижает скорость проникновения газов из окружающей среды в стенки прибора и его внутреннюю полость. Давление в колпаке измеряется манометрическим преобразователем И. Напуск атмосферы в колпак перед его подъемом производится через электромагнитный клапан-натекатель 10. Предварительная откачка изделий осуществляется через кран 7, присоединенный к механическому вакуумному насосу 14 откачивающему колпак. По достижении заданного предварительного разрежения в изделии 15 кран 7 закрывается, и открывается высоковакуумный кран 3, который сообщает полость изделия с высоковакуумным насосом 1, снабженным маслоотражателем 4. Выпускной патрубок насоса 1 через электромагнитный клапан 6 соединен с механическим вакуумным насосом 2. Клапаны 12 и 13 служат для напуска атмосферного воздуха в насосы 2 я 14 после их выключения. Для измерения давления предусмотрены манометрические преобразователи 9 п 11. [c.267]