Проникновение газов вакуумных систем

Проникновение атмосферных газов. Вклад эффектов проникновения в атмосферу остаточных газов вакуумной системы зависит от относительного содержания газов в воздухе. В табл. II представлены данные о парциальных давлениях составляющих воздуха. [c.244]

Давление в любой вакуумной системе определяется конкуренцией двух процессов 1) скоростью удаления газа за счет откачки 2) скоростью, с которой газ вводится в систему либо путем испарения с внутренних стенок, либо проникновением сквозь них. [c.251]

Степень разрежения, достигаемая в вакуумных системах, определяется равновесным давлением, установившимся под действием двух взаимно противоположных процессов откачки газов с помощью насосов и проникновения газов в вакуумную систему в результате проницаемости и наличия истинных и кажущихся течей (см. разд. 1, тл. 3). [c.8]

В идеальной вакуумной камере давление, достигаемое в момент отделения камеры от насосов, должно сохраняться бесконечно долго. В любой реальной камере после ее отсоединения от системы откачки наблюдается повышение давления. Это вызывается проникновением газа извне в вакуумную камеру и десорбцией газа с поверхности деталей камеры или с ее стенок. Скорость повышения давления в единицу времени составляет [c.9]

Некоторые вакуумные уплотнения предназначены -не только для предотвращения проникновения газов, но и для передачи движения (или электрического тока), переноса материалов или пропускания излучения внутрь вакуумных систем. Простые вакуумные системы содержат небольшое количество таких уплотнений в очень больших вакуумных установках их число может достигать нескольких тысяч. [c.16]

Технические стекла для газов практически непроницаемы, если давление в вакуумной системе не ниже 10 шш рт. ст. (рис. 2-6). При более низких давлениях проницаемость стекла для различных газов становится достаточно значительной, чтобы вызвать изменение давления в вакуумной системе. Проникновение гелия внутрь откачанных стеклянных ламп и его накопление в них показаны на рис, 2-10, [c.24]

Количество содержащихся в осадке газов определяется следующим образом. Из вакуумной установки еще до загрузки образца тщательно откачивается воздух, причем в установке проверяется натекание, т. е. проникновение атмосферного воздуха в вакуумную систему при неработающих вакуумных насосах. Если система сохраняет необходимый вакуум в течение определенного времени, то кварцевая ячейка изолируется от вакуумной системы посредством кранов 7 и и осторожно открывается снятием шлифа 4. В снятый шлиф (на дно изогнутой трубки) помещается образец, а шлиф вновь надевается на ячейку. Изогнутая часть шлифа с образцом помещается в сосуд Дьюара 6 с жидким воздухом для замораживания с целью предотвращения преждевременного удаления из образца газов и влаги. После этого вновь начинается откачка системы, причем кран 7 открывает-стя очень осторожно в последнюю очередь. По достижении. необходимого вакуума и в случае отсутствия натекания откачка прекращается сосуд Дьюара с жидким воздухом- удаляется. Затем поворотом шлифа 4 изогнутым концом вверх производится перемещение образца в кварцевую трубку /. Теперь в сосуд с жидким воздухом погружается П-образная трубка 5 для конденсирования выделившейся из образца влаги. После замера остаточного давления в системе включается электрическая печь для нагрева образца до полного удаления из него газов. После окончания нагрева система охлаждается до комнатной температуры, а при помощи [c.252]

Газоотделение стенок аппаратуры, уплотнителей, проникновение в откачиваемые объемы паров масла или ртути из диффузионных насосов и, наконец, различные газообразные выделения при технологических процессах, для которых предназначены аппараты, делают в некоторых случаях недостаточной откачку одним механическим или даже диффузионным насосом. Для удаления или связывания конденсируемых паров и газов в вакуумные системы вводятся специальные ловушки с интенсивным охлаждением рабочих поверхностей. [c.10]

У насосов, в которых применяют рабочие жидкости (насосы с масляным уплотнением, струйные), полное остаточное давление определяется составом и состоянием рабочей жидкости и обычно на порядок выше давления остаточных газов, которое зависит обычно от конструкции и качества изготовления насоса. Очевидно, если откачиваемый сосуд не защищен от проникновения паров рабочей жидкости насоса, то предельное остаточное давление в сосуде или в вакуумной системе не может быть ниже полного остаточного давления насоса. [c.86]

Ловушки представляют собой устройства, предназначенные для улавливания паров или газов с целью предотвращения или уменьшения их проникновения из одной части вакуумной системы в другую. Так, при откачке сосудов парортутным диффузионным насосом, из которого поступают в вакуумную систему пары ртути, имеющие давление насыщения 0,1 Па, для получения более высокого вакуума прибегают к интенсивной их конденсации (вымораживанию) при помощи ловушек с охлаждающими веществами (хладагентами). [c.162]

Герметичность вакуумной системы — это свойство всех ее элементов и их соединений обеспечивать настолько малое проникновение (натекание) газа через них, чтобы им можно было пренебречь в рабочих условиях. [c.245]

Как уже отмечалось, создание вокруг изделия 15 области с пониженным давлением (откачка по системе вакуум в вакууме ) предотвращает окисление внешней поверхности при нагреве изделия во время его обезгаживания и значительно снижает скорость проникновения газов из окружающей среды в стенки прибора и его внутреннюю полость. Давление в колпаке измеряется манометрическим преобразователем И. Напуск атмосферы в колпак перед его подъемом производится через электромагнитный клапан-натекатель 10. Предварительная откачка изделий осуществляется через кран 7, присоединенный к механическому вакуумному насосу 14 откачивающему колпак. По достижении заданного предварительного разрежения в изделии 15 кран 7 закрывается, и открывается высоковакуумный кран 3, который сообщает полость изделия с высоковакуумным насосом 1, снабженным маслоотражателем 4. Выпускной патрубок насоса 1 через электромагнитный клапан 6 соединен с механическим вакуумным насосом 2. Клапаны 12 и 13 служат для напуска атмосферного воздуха в насосы 2 я 14 после их выключения. Для измерения давления предусмотрены манометрические преобразователи 9 п 11. [c.267]

Метод разрядной трубки применим для объектов или участка вакуумных систем из любого материала. На участке трубопровода, идущего непосредственно к насосу, помещается разрядная трубка (рнс. 6-23), в которой возбуждается свечение газа (обычно воздуха), протекающего из вакуумной системы в насос. Наиболее удобная область давления ирн пользовании описываемым методом лежит в пределах 0,1 -4-1 мм рт. ст. В этой области давлений воздух при возбуждении в нем разряда имеет розовое свечение. Подозрительный по натеканию участок вакуумной системы смазывается ватой или опрыскивается из пульверизатора ацетоном, бензином или другим каким-либо легколетучим углеводородом одновременно непрерывно наблюдают за свечением разряда в трубке. Если при достаточно длительном опрыскивании какого-либо участка системы розовое свечение разряда в трубке изменит свой цвет на голубой, то это значит, что пары распыляемой жидкости проникли через негерметичное место и повлияли на цвет разряда, т. е. в данном участке системы имеется натекание. При отсутствии легколетучих углеводородов для обнаружения натекания можно производить опрыскивание водой, при проникновении паров которой в разрядную трубку свечение также становится голубым. [c.258]

Описанным методом можно пользоваться, наблюдая за свечением разряда не обязательно в разрядной трубке, установленной на участке трубопровода, идущем к насосу. Разряд можно возбудить и в других стеклянных участках вакуумной системы и пользоваться им с тем же успехом, если только свечение разряда достаточно интенсивно и есть уверенность, что пробный газ или пар при проникновении через течь попадет в достаточном количестве в тот участок, где возбужден разряд, и быстро вытеснит находящийся здесь воздух. [c.259]

При применении вакуума возможен подсос наружного воздуха в аппаратуру и образование в ней взрывоопасных смесей. Эта опасность увеличивается тем, что проникновение в аппарат наружного воздуха незаметно для обслуживающего персонала. Поэтому при работе под вакуумом необходим постоянный надзор за герметичностью аппаратуры, и в частности определение процентного содержания кислорода внутри системы, для чего чаще всего применяются автоматические газоанализаторы. При внезапной разгерметизации вакуумных аппаратов производится гашение вакуума подачей инертных газов. [c.60]

Откачка манометра. Ионизационный манометр регистрирует давление за счет ионизации части газа в вакуумной системе эти ионы захватываются и, по крайней мере временно, теряются. Поэтому в процессе такого измерения давление может сильно меняться. Более того, при длительной работе газы могут оказаться вообще вытесненными из установки, что может привести к проникновению туда примесей. Ионизирующие электроны вылетают из термоионного эмиттера. В случае легко диссоциирующих газов, а на практике это все газы, за исключением азота, окиси углерода и благородных газов, на горячей нити, даже если она не эмитти-рует, будут происходить химические реакции типа диссоциации. Образующиеся при диссоциации фрагменты являются свободными радикалами и особенно реакционноспособны. [c.267]

Ртутный компрессионный манометр и вакуумная система обычно соединяются через охлаждаемую ловушку Л (рис. 2. 4) для предотвращения проникновения паров ртути в вакуумную систему. При этом оказывается, что охлаждаемая ловушка служит насосом, который непрерывно откачивает пары ртути из компрессионного манометра. В свою очередь, наличие непрерывного потока ртути в соединительной трубке между компрессионным манометром и ловушкой обусловливает диффузионную откачку газа из измерительного баллона А компрессионного манометра. Майнке и Райх [9], рассматривая распределение давления газа в условиях его диффузии в струю пара применительно к компрессионному манометру, исходили из динамического уравнения диффузии [c.31]

При работе пароструйных насосов любой ко1нструкции одновременно с желательным явлением — проникновением газа из вакуумной системы в струю пара рабочей жидкости— происходит и нежелательное явление — диффузия пара в вакуумную систему (в основном со стенок холодильника). Давление воздуха, а также других газов и паров [c.101]

Гелиевый масс-спектрометрический течеискатель СТИ-8 предназначен для высокочувствительной проверки герметичности систем с малым газоотделе-нием. Вакуумная система течеискателя выполнена на металлических уплотнениях. В течеискателе возможны два режима проверки герметичности режим предварительных испытаний с откачкой пароструйным насосом и режим высокочувствительных испытаний при откачке цеолитовым насосом. Минимальная течь, обнаруживаемая течеискателем в режиме высокочувствительных испытаний, составляет от 5-10 до 5-10 л-мкм рт. ст./с при подаче гелия соответственно от 1 до 10 мин. Выбор гелия в качестве пробного газа объясняется почти полным его отсутствием в окружающей атмосфере и среди газов, выделяемых стенками вакуумной аппаратуры, а также хорошим проникновением его даже в самые незначительные течи. [c.566]

При работе пароструйных насосов любой конструкции одновременно с желательным явлением — проникновением газа из вакуумной системы в струю пара рабочей жидкости — происходит и нежелательное явление — диффузия пара в вакуумную систему (в основном со стенок холодильника). Давление воздуха, а также других газов и паров в вакуумной системе благодаря работе насоса может быть снижено до 10 мм рт. ст. и. ниже, в то же В1ремя пар рабочей жидкости распространяется по. всей вакуумной системе с давлением насыщения, соответствующим темпе-- [c.98]

Методы обнаружения мест натекания с помощью манометров. Если, например, обдувать вакуумную систему снаружи тонкой струей водорода. то при проникновении водорода через течь давление в системе резко повысится, так как водород проникает в систему значительно быстрее воздуха. При измерении давления теплоэлектрическим манометром для обдувания системы следует выбирать такой газ или пар. который по сравнению с воздухом обладает значительно большей или значительно меньшей теплотроводностью. В этом отношении водород имеет преимущество, так как его теплопроводность значительна и при попадании его в манометрическую лампу температура нити понижается. При помощи теплоэлектрического манометра. можно обнаружить натекание до 1 10 2 лмк/сек. [c.539]

Д. Юинг, Ж. Тобин и Д. Фоулк [16] усовершенствовали метод измерения газопроницаемости покрытий и добились хорошей воспроизводимости результатов. С этой целью проводился тщательный контроль влажности газа, впускаемого в вакуумную установку для проникновения через исследуемую фольгу (гелий или азот), проверялось обезгаживание системы, особенно испытуемых образцов, в которых всегда содержатся растворенные и включенные газы и пары из электролита. Кроме того, производился тщательный отбор образцов, подвергавшихся испытанию предварительно в образцах проверялось отсутствие крупных пор фотографическим методом (который будет рассмотрен ниже). [c.359]