Сопротивления тонкопленочные, влияние подложки

Тонкопленочные резисторы. Тонкопленочные резисторы относительно нечувствительны к шероховатости поверхности до тех пор, пока она не превышает толщины пленки. Материалами для подложек, используемых для этой цели, являются стекла, полированный плавленый кварц, кера-.мика и монокристаллические пластины. Сравнение нихромовых пленок, осажденных на спеченную керамику и стекло, показывает, что на более грубых поверхностях получаются пленки с большим сопротивлением на квадрат, меньшими температурными коэффициентами сопротивления и худшей стабильностью во время термического старения [16—18]. Подобно ведут себя кремниевые пленки, осажденные па только что приготовленную окись алюминия [19]. Данные, иллюстрирующие влияние шероховатости на удельное сопротивление нитрида тантала, приведены в табл. 7. Данные Брауна [20] и Коффмана и Тэнауера [21] в табл. 7 дают хорошее совпадение и показывают растущее влияние шероховатости поверхности на удельное сопротивление. Более детальное исследование на подложках с высоким отношением стеклообразной фазы к кристаллической позволило установить, что форма кристалла, отношение стеклянной матрицы к кристаллическому веществу и плотность кристаллитов оказывает более сильное влияние на поверхностное удельное сопротивление, чем шероховатость, измеренная профилографом [21]. [c.514]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология