Насос адсорбционный двухроторный

Для предварительной откачки объема и адсорбцион-ного насоса используют механические насосы с масляным уплотнением, двухроторные или диффузионные насосы с защитными ловушками и др. Предварительная откачка позволяет резко снизить давление гелия и неона в откачиваемом объеме, поэтому предельное давление высоковакуумного насоса определяется в основном остаточным давлением водорода, который выделяется с поверхностей вакуумной системы, горячих элементов манометров, установки и т. д. [c.143]