Очистка воздуха от следов горючих материалов

Необходимость осуществления тонкой очистки воздуха в широком промышленном масштабе особенно остро появилась сравнительно недавно, последние 10—20 лет, с созданием и развитием таких новых отраслей народного хозяйства, как производство полупроводниковых, радиоэлектронных и сверхточных приборов, получение ядерного горючего, выпуск химических веществ особой чистоты и т. п. Опыт работы этих производств показывает, что в большинстве случаев нормальное проведение технологического процесса существенно зависит от того, насколько хорошо решена задача гонкой очистки газа или воздуха от аэрозолей. В качестве примера можно привести следующий при получении некоторых полупроводниковых материалов содержание посторонних примесей не должно превышать одного атома на 100 млн. атомов основного материала. [c.44]

Справочник химика 21