Эллипсометрия. Основные принципы

Б. Эллипсометрия. Основные принципы [c.400]

Принципы эллипсометрии разработаны рядом авторов уже довольно давно, но в электрохимии, особенно в связи с кинетическими проблемами, ее стали использовать сравнительно недавно. Основные уравнения были получены Друде [41], а обзор других работ по этому вопросу можно найти у Уинтерботтома [42]. Описание ранних работ по основам и приложениям эллипсометрии содержится в [43—49] особенную ценность в этом плане представляют статьи [50-52]. [c.400]

В основе метода лежит исследование отражения или преломления поляризованного света на границе между двумя разнородными средами [140]. Наибольшее распространение получил метод отражательной эллипсометрии, основанный на измерении состояний поляризации падающей и отраженной световых волн. Принцип метода показан на рис. 6.9. При отражении амплитуда и фаза каждой компоненты поляризации (р и s) изменяется скачком, что позволяет определять отношение комплексных френелевских коэффициентов отражения Rp и Rg для р-и s-поляризаций соответственно. Основные уравнения эллипсометрии связывают френелевские коэффициенты отражения и измеряемые углы поляризации анализатора (А) и поляризатора (Р) следующим образом [c.321]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология