Приложения эллипсометрии

Принципы эллипсометрии разработаны рядом авторов уже довольно давно, но в электрохимии, особенно в связи с кинетическими проблемами, ее стали использовать сравнительно недавно. Основные уравнения были получены Друде [41], а обзор других работ по этому вопросу можно найти у Уинтерботтома [42]. Описание ранних работ по основам и приложениям эллипсометрии содержится в [43—49] особенную ценность в этом плане представляют статьи [50-52]. [c.400]

Физико-химические приложения эллипсометрии [c.238]

Исследование физико-химических и электрохимических процессов на поверхности твердых тел — это классическое приложение эллипсометрии. В оптической и полупроводниковой промышленно- [c.238]

Эллипсометрия является, вероятно, одним из наиболее распространенных методов измерения толщины тонких пленок на твердых подложках. Подробное обсуждение теории, аппаратуры и приложений читатель может найти во многих обзорах, например [2, 18, 35, 40, 43]. В эту главу эллипсометрия включена как один из наиболее чувствительных методов анализа тонких пленок. Хотя эллипсометрия основана на внешнем, а не внутреннем отражении, эллипсометрические измерения в тонких биологических пленках, видимо, также можно проводить с помощью волноводных систем однократного или многократного внутреннего отражения [7]. Правда, число публикаций о комбинации эллипсометрип с СВО весьма ограничено и пока не ясно, насколько этот метод полезен. Поэтому мы не будем обсуждать его подробно. [c.525]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология