Насосы с катодным распылением титана

Одиночная разрядная ячейка образована двумя титановыми катодными пластинами и анодом из коррозионностойкой стали. При подаче на электроды разрядной ячейки высокого напряжения в ячейке возникает газовый разряд в широкой области низких давлений. Образующиеся в разряде положительные ионы газа ускоряются электрическим полем и внедряются в катоды, одновременно материал катода (титан) распыляется и осаждается на аноде и стенках насоса. Эффективность откачки насоса определяется внедрением ионов газа в материал катода (ионная откачка) и поглощением газов распыленным титаном (сорбционная откачка). Магниторазрядные насосы НЭМ и НОРД отечественного производства содержат десятки и сотни разрядных ячеек, объединенных в электродные блоки. Блоки помещены в корпус из коррозионностойкой стали. Магнитное папе напряженностью 700 э создается оксидно-бариевыми магнитами, расположенными с внешней стороны корпуса. В насосах НЭМ на анод подается положительный по отношению к катодам потенциал в насосах НОРД подается отрицательный по отношению к аноду потенциал на катоды. К достоинствам магниторазрядных насосов следует [c.423]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология