Магниторазрядные насосы

Рис. 20. Конструктивные схемы магниторазрядного насоса а — диодный насос с ребристым катодом б — триодный насос / — корпус 2 — анод 3 — катод 4 — изолятор 5 — магнит 6 — вход газа в насос

Рис. 24. Ячейка магниторазрядного насоса.

Откачка инертных газов в магниторазрядных насосах происходит в основном на катодах путем внедрения в них быстрых ионов, которые после нейтрализации удерживаются силами физической адсорбции. Непрерывно напыляемый титан замуровывает сорбированные молекулы. Распыление материала катода ведет к высвобождению части молекул газа, поэтому в основном они удерживаются лишь на периферии катода, где скорость распыления меньше скорости напыления титана. Не исключено, что часть молекул инертных газов, находящихся в возбужденном [c.61]

Отечественной промышленностью в настоящее время освоено производство ряда магниторазрядных насосов, имеющих оптимизированные типовые узлы. Серия насосов типа НМД (НЭМ) включает семь неохлаждаемых насосов диодного типа с быстротой действия от 6 до 1000 л/с НМД-0,0063 НМД-0,025 НМД-0,063 НМД-0,1 НМД-0,25 НМД-0,63 и НМД-1. Предельное остаточное давление этих насосов менее Л-10 Па, а наибольшее рабочее давление 6-10 Па. Для питания насосов в их комплект входят высоковольтные выпрямители с оптимизированными вольт-амперными характеристиками. Насосы НМД имеют большой срок службы (десятки тысяч часов), просты в обслуживании, не выходят из строя при аварийном попадании атмосферы в вакуумную систему. Недостатком насосов типа НМД является разогрев электродов во время запуска при давлении около 1 Па, [c.64]

Магниторазрядные насосы являются геттероионными и отличаются от испарительных тем, что в них как для распыления геттера, так и для ионизации газов используется высоковакуумный газовый разряд в скрещенных электрическом и магнитном полях. Схема простейшего диодного магниторазрядного насоса показана на рис. 19. В корпусе насоса 1 размещается электродная система, состоящая из анода 2, имеющего форму ячеек, и пластин катода 3 и 5. Пластины катода располагают по обе стороны от анода напротив открытых концов его ячеек. Корпус насоса помещается в магнитное поле магнита 6. Причем электродная система ориентируется так, чтобы линии магнитного поля были перпендикулярны плоскости катодов. Корпус насоса и ячейки анода обычно изготавливают из немагнитного материала, например из нержавеющей стали. Материалом пластин катода служит титан или какой-либо другой химически активный металл. Анод, как правило, укрепляют в корпусе на изоляторах 4, а катод вместе с корпусом заземляют, хотя в некоторых случаях, наоборот, заземляют анод. [c.60]

Таким образом, в магниторазрядном насосе автоматически регулируется скорость распыления катодов, что обеспечивает экономное расходование геттера и длительный, в несколько десятков тысяч часов, ресурс работы. [c.61]

Необычайная простота конструкций магниторазрядных насосов сочетается с больщой сложностью процессов, протекающих в них. В связи с этим за основу рационального конструирования насосов этого типа обычно берут эмпирические соотношения, позволяющие рассчитать основные их параметры быстроту действия, минимальное рабочее давление, геометрические соотношения [3]. Так, для расчета быстроты действия по азоту в области давлений, где сохраняется пропорциональность между током разряда и давлением, была предложена следующая зависимость [c.63]

Поскольку магниторазрядный насос представляет собой совокупность большого числа параллельно работающих ячеек, то непосредственный интерес представляет быстрота действия, рассчитанная на 1 см боковой поверхности многоячеистого анода [c.63]

Для эффективной работы насоса необходимо обеспечивать свободный доступ газа ко всем ячейкам. Поэтому при создании насосов с большей быстротой действия идут не по пути увеличения числа ячеек, а по пути увеличения числа отдельных секций. Каждая секция включает все элементы магниторазрядного устройства, т. е. в одном корпусе монтируются несколько параллельно работающих магниторазрядных насосов. [c.64]

Испарители изготовляют в иодидных аппаратах со стружкой титана у стенок и с иодом. При нагреве стенок до 300° С образуется соединение титана с иодом затем проволока из молибдена нагревается током до 1300° С, соединение диссоциирует, иод освобождается, а титан оседает на керне очень чистым покрытием. Недостаток насосов ГИН — сравнительно небольшой ресурс работы порядка 1000 ч. Однако они обладают лучшим отношением быстроты откачки к весу насоса по сравнению с магниторазрядными насосами. [c.79]

Достоинством магниторазрядных насосов является постоянство быстроты откачки в широком диапазоне давлений. Работа насоса слабо зависит от величины магнитного поля при полях свыше 1—1,5 кгс. При тщательном многочасовом обезгаживании предельный вакуум насосов достигает 10 " тор при обычной эксплуа- [c.82]

Магниторазрядные насосы НОРД отличаются от насосов НЭМ способностью устойчиво откачивать газы в щироком диапазоне давлений, а также повышенным давлением запуска, что достигнуто за счет охлаждения водой заземленного анодного блока (рис. 27). Максимальное давление, начиная с которого возможен запуск [c.84]

НОСТИ, например для ускорителя в Серпухове на 70 Гэв выбраны магниторазрядные насосы как более надежные сравнительно с испарительными [122—124]. [c.150]

Цель работы. Ознакомиться с системами безмасляной откачки от атмосферы до высокого вакуума на примере магниторазрядного насоса, цеолитового агрегата и водоструйного насоса, изучить порядок работы с ними, освоить работу со сверхвысоковакуумным ионизационным манометром. [c.192]

Для получения сверхвысокого вакуума необходимо эти насосы и откачиваемые объемы прогреть до температуры 400—450° С с одновременной откачкой насосом предварительного разрежения. Во время прогрева необходимо вести контроль за давлением, которое не должно превышать 5-10 2 тор. После прекращения прогрева и достижения разрежения —iQ-з тор подается напряжение на электроды насоса. В первый момент происходит увеличение давления за счет десорбции газа с деталей насоса под действием разряда, и через электроды протекает большой разрядный ток. Если после включения магниторазрядного насоса высокая степень разрежения (10- —10 тор) не достигается, необходимо проверить систему на герметичность и устранить возможное натекание в местах соединений. Вторая причина плохой работы насосов — недостаточное обезгаживание насоса и вакуумной системы. [c.201]

Магниторазрядные насосы очень чувствительны к загрязнению углеводородами. Например, в работе [152] показано, что после 30—40 ч работы с механическим насосом без последовательно включенной ловушки возникновение разряда затруднено. Окисление материала катода приводит к тому, что в области давлений 10 тор разрядный ток заметно уменьшается. [c.201]

При работе с магниторазрядными насосами слеДует помнить, что напряжение на электродах насоса 3—7 кв. Такое напряжение опасно для жизни, и поэтому при эксплуатации насосов необходимо соблюдать следующие правила техники безопасности. [c.202]

Каков принцип действия магниторазрядных насосов [c.215]

Магниторазрядный насос ТРИОН-150 отличается наиболее низким предельным остаточным давлением 10 " тор н повышенным давлением запуска 5-10 2 тор (рис. 28). Такие характеристики получены в результате охлаждения электродов насоса водой при запуске и жидким азотом в режиме предельного вакуума [62, 63]. Благодаря однопотенциальной триодной схеме у насоса ТРИОН увеличена быстрота откачки инертных газов. Охлаждаемые полые анод и коллектор изготовлены из меди и могут соединяться с азотопроводом от сосуда Дьюара или с водопроводной линией. Быстрота откачки достигает 200 л/сек (без азотного охлаждения 130л/сек). Насос ТРИОН-150 обезгаживается прогревом при тем- [c.85]

Каковы преимущества магниторазрядных насосов перед сорбционно-ионными [c.215]

Какие меры предосторожности необходимо применять при работе с магниторазрядными насосами [c.215]

Рудницкий Е. М., Селях Г. С. Высоковакуумный агрегат с магниторазрядным насосом. Приборы и техника эксперимента , Л о 3, 170 (1965). [c.269]

Рудницкий Е. М. Быстрота откачки и ток магниторазрядных насосов в области низких давлений. Приборы и техника эксперимента , Л о 3, 127 (1967). [c.269]

Более универсальной безмасляной вспомогательной системой является система с магниторазрядным насосом. Результаты исследования такой системы приведены в [2-21]. [c.119]

Механизм откачки отдельных газов в магниторазрядных насосах во многом сходен с механизмом, определяющим работу испарительных геттерных насосов. Однако интенсивная ионизация и диссоциация молекул откачиваемого газа в газовом разряде делают ма гниторазрядный насос более эффективным средством откачки инертных газов, углеводородов и других сложных молекул. [c.61]

В отечественном триодном магниторазрядном насосе НМТО-01-1 (ТРИОН-150) анод и коллектор могут охлаждаться водой или жидким азотом. Помимо повышения быстроты дейсгв и я по инертным газам, этот насос способен запускаться и длительно работа ъ при повышенных давлениях соответственно 6,5 Па и Ы0 1 Па. Быстрота действия насоса по воздуху при охлаждении водой 120 л/с, а при охлаждении жидким азотом 200 л/с. Быстрота откачки аргона при давлении 6,5-10 Па и охлаждении водой составляет 30 л/с. Предельное остаточное давление в случае азотного охлаждения ниже Ы0 Па. [c.65]

Все ранее рассмотренные магниторазрядные насосы имели внешние магниты. Б насосе же типа ТУИ-30 111] магниты расположены внутри корпуса, причем сам корпус служит магнито-проводом. Простота конструкции, отсутствие рассеянного магнитного поля вне насоса, применение ребристых катодов, предотвращающих аргонную. нестабильность, высокая быстрота действия ( 0,8 л/с на одну ячейку) позволили эффективно использовать эти насосы для откачки линейного ускорителя электронов. [c.66]

В настоящее время разраоо-тано и эксплуатируется огромное количество адсорбционных вакуумных насосов различной конструкции и назначения, от небольших стеклянных ловущек, заполненных сорбентом, до крупных систем специального назначения с быстротой действия по водороду и гелию в десятки тысяч литров в секунду. Небольшие адсорбционные насосы широко применяются как удобные безмасляные насосы предварительного разрежения. Они используются в сочетании с испарительными геттерными и магниторазрядными насосами для откачки полностью безмаслянных высоковакуумных систем. [c.76]

Авторы работы (19] описывают использование адсорбционного насоса вместе с магниторазрядным Для откачки и обезгаживания электровакуумных приборов с крупными ОКСИДНЫМИ катодами. Вследствие разложения карбонатов при обезгаживании оксидного катода давление в вакуумной системе с магниторазрядным насосом (без адсорбционного) возрастало до 10- мм рт. ст., т. е. значительно выше допустимого. Параллельное подключение адсорбционного насоса позволило снизить давление до 10 мм рт. ст. Высокая избирательная способность адсорбционного насоса по окислительным компЬ-нентам газовой среды (НгО, СОг) позволяет уменьшить вероятность протекания окислительных процессов. На заключительных стадиях обезгаживания прибора, когда выделение газа резко уменьшалось, адсорбционный насос отключали, так как его предельное давление было выше, чем в магниторазрядном насосе. Предварительное разрежение в описанной вакуумной системе обеспечивалось также адсорбционным насосом. [c.150]

О триодном магниторазрядном насосе с охлаждаемыми электродами см. Виноградов Л1. И., Рудницкий Е. М. Приб. и техн. экспер.. Ле 2. 108 (1966) РЖХи.м. 1966. 22Д28. [c.342]

Конструкция магниторазрядных насосов показана на рис. 25 на примере НЭМ-30-2. Секционирование анода применяется для повыщения производительности, одна ячейка размером 20x20x15 мм при поле 700 гс и напряжении 7 кв обеспечивает быстроту откачки около [c.83]

Разработан триодный магниторазрядный насос МАРТ, который благодаря двухпотенциальной триодной схеме обладает повышенной быстротой откачки инертных газов. Анодная и две катодные решетки собраны на керамических изоляторах. Роль коллектора ионов выполняет корпус насоса, его напряжение — промежуточное между напряжениями анода и катода. Часть ионов с небольшой энергией оседает на коллекторе и покрывается напыляемым титаном, при этом сам коллектор не распыляется из-за слабой бомбардировки. Поэтому насос МАРТ ие подвержен аргонной болезни, он имеет быстроту откачки по воздуху 30, по аргону 10 л1сек предельный вакуум 10 ° тор. [c.85]

Полупроводниковая ловушка ТВЛ-500. И. Блок питания к магниторазрядному насосу БПНЭМ-300. [c.196]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология