Откачки уравнения для процессов ионной откачки

Много усилий было предпринято для вывода уравнений быстроты откачки, основанных на различных моделях захвата ионов [130]. Если эф фективность захвата поверхностью в течение всего процесса остается неизменной, то давление в замкнутой системе при откачке ионным насосом должно экспоненциально падать во времени, что, вопреки ожиданиям, экспе риментально не подтверждается. Не имели успеха и попытки, в которых, принималось во внимание наблюдаемые на опыте спадающие зависимости быстроты откачки и учитывалось уменьшение числа свободных для захвата состояний. Это связано с тем фактом, что захвату ионов всегда сопутствуют процессы освобождения газа, которые усиливаются по мере приближения поверхности мишени к состоянию насыщения. Идентифицированы два механизма освобождения газа. Из-за термической активации происходит спонтанная десорбция захваченных газов. Она может наблюдаться и послг выключения ионной откачки [133]. Падающие ионы вызывают в процессе откачки обратную диффузию и десорбцию газа. Прямыми экспериментальными доказательствами выделения газа вследствие ионной бомбар дировки являются так называемые эффекты памяти . Они наблюдаются, если в серии следующих друг за другом экспериментов насос откачивает различные газы. В процессе второго цикла откачки исходная концентрация захваченного на поверхности мишени в предыдущем цикле данного сорта газа уже не соответствует его новому парциальному давлению. Вследствие этого первоначально захваченный газ выделяется в вакуум до тех пор, пока не наступит новое равновесное состояние. Таким образом, предельное давление, полученное с помощью ионного насоса, соответствует не просто условию, когда все свободные сорбционные состояния заполнены, а определенному динамическому равновесию, в котором сбалансированы процессы захвата ионов и выделения газов. Хотя ионы могут быть внедрены и в стекло, наиболее эффективными для захвата являются по- [c.211]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология