Особенности эксплуатации механических и диффузионных насосов

Особенности эксплуатации механических и диффузионных насосов [c.174]

Технологический процесс откачки тесно связан с вакуумной системой применяемого откачного оборудования, конструкция и характеристики которого зависят от специфических особенностей откачиваемых приборов. Например, большинство массовых типов приемно-усилительных ламп откачивается на многопозиционных карусельных полуавтоматах без диффузионных насосов. Окончательный высокий вакуум получают за счет газопоглотителя уже в процессе тренировки. Наиболее экономичными и простыми являются полуавтоматы, имеющие диффузионные насосы только на последних позициях. Вакуумная система такого карусельного полуавтомата позволяет поднимать производительность за счет форсирования режимов откачки. Для откачки ламп повышенной надежности и долговечности, приборов СВЧ, модуляторных и импульсных ламп, генераторных ламп.малой и средней мощности, электронно-лучевых трубок, высоковольтных и других приборов, требующих получения высокого вакуума при тщательном обезгажи-вании, применяются высокопроизводительные диффузионные паромасляные насосы в сочетании с механическими насосами предварительного вакуума. Использование паромасляных насосов создает опасность попадания паров масла внутрь объема откачиваемого прибора и требует весьма грамотного выбора технологического режима обработки и правильной эксплуатации оборудования. Технологический режим обработки в этом случае [c.163]