Насосы паромасляные диффузионные

Фиг. 256. Затвор для крупногабаритных паромасляных диффузионных насосов

Фиг. 351. Паромасляный диффузионный насос Н-40Т / — корпус 2 — маслоотражател ь 3 — паропровод —водяная ру-башка 5 электронагреватель

Основным средством откачки современных промышленных напылительных установок продолжают оставаться паромасляные диффузионные насосы. Работа паромасляного насоса сопровождается непрерывной миграцией паров рабочей жидкости из насоса в вакуумный объем. [c.193]

Обычно различают низкий, средний и высокий вакуум. Низкий вакуум соответствует остаточному давлению в системе выше 1 -10"1 Па (10- мм рт. ст.), при среднем вакууме остаточное давление равно 1 10-1—1 10 Па (10- —10 мы рт. ст.), при высоком оно ниже 1 X X 10 Па (10 - мм рт. ст.). В большинстве адсорбционных установок в конце стадии регенерации остаточное давление в системе составляет 10- —Па (10 —10- мм рт. ст.). Обычно система вакуумирования состоит из двух ступеней предварительная откачка осуществляется масляным ротационным насосом, высокий вакуум достигают с помощью ртутного или паромасляного диффузионного насоса. Лишь в исключительных случаях предусмотрены средства (например адсорбционные насосы), позволяющие достичь сверхвысокого вакуума — ниже [c.38]

Марка паромасляною диффузионного насоса с водяным охлаж дением [c.485]

ВКЖ-94. Рабочая жидкость для высоковакуумных паромасляных (диффузионных) насосов, позволяющая получить вакуум 0Г —. 0 мм рт. ст. [c.231]

Рабочие жидкости для сверхвысоковакуумных насосов. Паромасляные диффузионные насосы успешно применяют для создания сверхвысокого вакуума в том случае, если в них используют рабочие жидкости с высокой термической стойкостью и низкой упругостью пара. [c.465]

Высокий вакуум — ниже 0,01 мм остаточного давления создается ртутным нли паромасляным диффузионными насосами. Их производительность может составлять до 20 л сек, но резко снижается при узких трубопроводах. [c.13]

В отличие от паромасляных диффузионных насосов желательно, чтобы конденсат рабочего газа обладал высокой поглощательной способностью молекул откачиваемого газа, что снижает нагрузку на форвакуумный насос. [c.33]

Для создания струи рабочая жидкость (ртуть, масло), находящаяся е специальном резервуаре, подогревается с помощью электронагревателя. Пар рабочей жидкости проходит через узкое сопло, где достигает скорости, необходимой для эффективного увлечения молекул. После выполнения этой функции оар конденсируется на холодильнике, омываемом проточной водой. Капли конденсата стекают в резервуар для рабочей жидкости, где снова происходит ее испарение, и т. д. Диффузионный насос без дополнительных средств работает при давлении на выхлопном патрубке (выпускное давление) 5 10 -н10 мм рт. ст. для паромасляных диффузионных насосов и порядка 0,5—1,1 мм рт. ст. для ртутных диффузионных насосов. Выпускное давление должно быть относительно постоянным во времени и не выходить- из пределов, показанных в паспорте насоса. Для обеспечения постоянства давления между форвакуумный насосом и выходным патрубком диффузионного насоса включают буферную емкость — форвакуумный бачок объемом 0,5—1 л. Форвакуумный бачок сглаживает изменения давления на входе форвакуумного насоса, получающиеся в случае неравномерности натекания исследуемого газа, и удерживает выпускное давление диффузионного насоса в нормальных пределах. [c.63]

Важно отметить, что в исследуемом насосе коэффициент Хо 5ыл примерно в 1,5 раза выше, чем у паромасляных диффузион- ых насосов, и в оптимальном режиме достигал 0,6. [c.35]

Окончательная формула для подсчета скорости откачки паромасляного диффузионного насоса с учетом ошибок измерения [c.535]

Эти многочисленные применения ртутных насосов объясняются тем, что ртуть обладает важными преимуществами по сравнению с органическим или силиконовыми маслами, используемыми в паромасляных диффузионных насосах. Одно из этих преимуществ заключается в том, что ртуть, являясь простым веществом, не разлагается на составные части и не загрязняет в такой мере стенки откачиваемых приборов, как ингредиенты жидкостей, используемых в паромасляных насосах. [c.10]

Чтобы устранить необходимость применения холодильной смеси и избавиться от обращения с вредной для здоровья ртутью, последнюю стали заменять жидкостями, имеющими при ком нат-ной температуре давление паров, соответствующее требуемой высоте вакуума. Это привело к применению нового типа насосов высокого вакуума, получивших название паромасляных диффузионных насосов. [c.41]

Скорость откачки воздуха в диапазоне давлений 10 —мм рт. ст. для насоса ГИН-05 составляет 400 л/сек. Подключение небольшого паромасляного диффузионного насоса увеличивает скорость откачки на 25—30%. Характерно, что проведенный при этом масс-спектрометрический анализ остаточных газов показывает отсутствие в рабочем объеме следов рабочей жидкости или продуктов ее крекинга, что, по-видимому, объясняется термическим разложением паров рабочей жидкости в геттерно-ионном насосе с последующим поглощением продуктов разложения. [c.102]

Для работы паромасляного диффузионного насоса требуется хороший форвакуум, поэтому иногда рекомендуется соединять [c.41]

Другим способом получения сверхвысокого вакуума является использование комбинированной откачки. На рис. 3-90 изображена рабочая камера напылительной установки, в которой используется комбинированная откачка с помощью паромасляного диффузионного насоса, а также криогенного насоса 1, охлаждаемого жидким гелием, и азотита 2. В результате комбинации указанных откачных средств в рабочем объеме установки без применения прогрева удается быстро получить сверхвысокий вакуум. [c.288]

В настоящее время паромасляные диффузионные насосы являются самым распространенным средством для создания высокого вакуума. Это объясняется простотой их конструкции и надежностью в работе. Однако они имеют ряд серьезных недостатков, которые конструкторам пока не удалось устранить. Главные из них — это миграция паров рабочей жидкости из насоса в откачиваемый объем, невысокое значение вакуумфактора, необходимость вертикальной ориентации. [c.31]

Некоторый недостаток паромасляных диффузионных насосов по сравнению. с ртутными насосами высокого вакуума заключается в том, что при соприкосновении с атмосферным воздухом масло впитывает в себя воздух. При работе насоса этот воздух вновь выделяется. Поэтому после включения паромасляного диффузионного насоса проходит некоторое время, прежде чем может быть получен вакуум порядка 10 мм Не. [c.42]

Для полученип высокого вакуума широко используются пароструйные масляные и ртутные диффузионные насосы, принципиальное устройство которых показано на рис. 7. Масло, находящееся в нижней части насоса, подогревают электронагревателем 1. Образующиеся пары по паропроводам через зонтичные сопла со скоростью, превышающей скорость звука, непрерывно истекают в вакуумную область, образуя сплошную конусную завесу. Эвакуируемый газ поступает через входное отверстие, увлекается струями сопел и уносит-гл в область форвакуумного давления, откуда удаляется в атмосферу масляным ротационным насосом. Паромасляные диффузионные насосы выполняются с различными скоростями откачки (от 10 до десятков тысяч л/сек) и давлениями (10 — 10 мм рт. ст.). В качестве рабочих жидкостей, пары которых используются в этих насосах, применяют органич. и кремний-органич. масла, сложные эфиры фталевой и себациновой к-т, Щпоступлеиие жидкие силоксаны и охлаждающей ртуть упругость па-ров при 20 не должна превышать 10 — 10 жж рт. ст. Данные для нек-рых ти-Рис. 7. Пароструйный диффузион- масляных Диффу- [c.254]

Упрощенный ПНД (рис. 1) состоит из ртутного манометра 15 со шкалой, сосуда для ртути 12, ловушки 17, дилатометра 14, манометрических ламп ЛТ-2 и ЛМ-2, паромасляного диффузионного насоса 21 (например, типа ЦВЛ-100 С), форвакуумного насоса ВН-461М, вакуумметра ВИТ-1 и моста постоянного тока МО-62. Насос 21 (металл) соединен с ПНД (стекло) с помощью патрубка 19, поддерживающего металлический стакан 18 с пицеином. Кроме того, может быть использовано вакуумно-плотное соединение с помощью ковара или специальных конусных уплотнений [3]. [c.230]

Порядок выполнения работ. Синтез предложенных соединений проводят в вакуумированных кварцевых ампулах. Кварцевое стекло при температурах синтеза не размягчается и не реагирует с расплавленными компонентами. Необходимый вакуум (10 мм рт. ст. во избежание окисления материалов) создают при помощи форва-куумного насоса без использования паромасляных диффузионных насосов. Для получения достаточно чистых продуктов исходные ком-поиенгы и ампулы должны быть чистыми. [c.66]

Годы, прошедшие с момента выхода предыдуш,его издания данной монографии (имеется перевод Практическая растровая электронная микроскопия.—М. Мир, 1978), ознаменовались бурным развитием принципов электронно- и ионно-зондовой аппаратуры и методов исследования. В первую очередь сюда следует отнести создание серийных растровых оже-электронных микроанализаторов, таких, как ЛАМР-10 (фирма ЛЕОЬ), установок электронно- и ионно-лучевой литографии, метрологических и технологических растровых электронных микроскопов и т. д. Существенно улучшились параметры приборов. Так, сейчас серийные растровые электронные микроскопы с обычным вольфрамовым термокатодом обладают гарантированным разрешением 50—60 А, модели высшего класса с наиболее высокими характеристиками имеют встроенную мини-ЭВМ, с помощью которой автоматически устанавливается оптимальный режим работы прибора, существенно облегчилось и стало более удобным обращение с прибором. В ряде случаев вместо обычных паромасляных диффузионных насосов для откачки используются турбомолекулярные и ионные насосы, создающие чистый вакуум вблизи образца, за счет чего снижается скорость роста пленки углеводородных загрязнений на объекте. [c.5]

С помощью паромасляных диффузионных или турбомо-лекулярных насосов, имеющих на выходе форвакуумные насосы, в аналитической части масс-спектрометра создается высокий вакуум. Вакуум необходим для сохранения катода (филамент) при работе с ЭУ и ХИ, так как в присутствии воздуха он бы [c.14]

Сильный механический насос со свежим незагрязненным маслом может дать остаточное давление в несколько микронов. На практике одноступенчатые роторные насосы наиболее часто применяются при перегонках как форнасосы, давая давление больше 100 х. Обычно их эффективность откачки заметно падает с уменьшением давления, в особенности ниже 100(1. Для того чтобы уменьшить предельное давление и одновременно увеличить объемную производительность при пониженном давлении, были сконструированы многоступенчатые механические насосы. Однако с улучшением конструкции паровых насосов, которые имеются в настоящее время, в практике перегонки предпочитают пользоваться паромасляными диффузионными или паромасляными конденсационными насосами для того, чтобы поддерживать вакуум ниже 100 (л, и механическими насосами или эжекторами для того, чтобы сжимать газ от этой величины до атмосферного давления. Нет ничего необычного в том, что для малых лабораторных перегонных приборов требуются насосы производительностью от 50 до 100 л в секунду при давлении от 1 до 10 (х. Как показано в табл. 18, если применяется только один механический насос для того, чтобы поддерживать вакуум, то выходит, что к небольшому по размерам лабораторному прибору должен быть присоединен большой заводской аппарат. Все механические роторные вакуумные насосы уплотняются смазочным маслом, имеющим малое давление пара. В новых насосах обычно пользуются маслами, которые имеют вязкость по шкалеСэйболта 10—20. Когда насос разработается и зазоры постепенно увеличатся, масло должно быть заменено более тяжелым (вязкость по Сэйболту 20—30) . В качестве масла для механического насоса применяются [c.476]

Самыми распространенными насосами для создания высокого вакуума являются паромасляные диффузионные насосы. В них масло используется в качестве рабочей жидкости. В последние годы удалось удвоить быстроту действия паромасляных вакум-ных насосов и снизить на несколько порядков интенсивность обратного потока паров масла. [c.6]

В 1ней газ эвакуируют в два приема. Вначале при помощи фор-вакуумного ротационного масляного насоса создается вакуум порядка 10 ММ рт. ст., затем включаются в работу промежуточный (бустерный) и паромасляный диффузионный насосы, могущие создать разрежение в откачиваемом объеме до 10 мм рт. ст. [c.270]

Запаянные ампулы с веществом помещают в обе ячейки теплопроводящего калориметра, ячейки присоединяют к вакуумной системе и вакуумируют форвакуумным ротавдонным и паромасляным диффузионным насосами. После установления нужного режима ампулу с исследуемым образцом в рабочем элементе (в измерительной ячейке) калориметра (рис. 30, а) разбивают стеклянной палочкой с помощью магнита. Тепловой эффект при разбивании составляет 0,00124 0,00003 кал. Навеску полностью испаряют и после выхода прибора на нуль проводят следующий эксперимент, разбивая ампулу во второй ячейке. [c.54]

Попадание паров рабочей жидкости насоса в откачиваемый обтаем иногда является со1зершеино недопустимым, это в особенности относится к системам, которые находятся под непрерывной откачкой (электронные микроскопы, масс-спектрометры и т. п.). Простейшей ловушкой, служащей для предотвращения попадания паров рабочих жидкостей в реципиент, является механический маслоотражатель, который при работе паромасляного диффузионного насоса обычно устанавливается таким образом, чтобы закрыть угол прямой видимости откачиваемого объема из верхнего сопла насоса при наименьшем снижении пропускной способности системы. Механическая ловушка задерживает пары масла, стремящиеся проникнуть в откачиваемый объем, но в то же время поверхность ее покрывается маслом, которое непрерывно испаряется, упругость паров масла над поверхностью ловушки будет соответствовать ее температуре. Создаваемое насосом предельное давление и определяется в основном давлением паров масла после отражателя. Отсюда следует, что такую ловушку целесообразно снабдить системой охлаждения так, чтобы на ее поверхности происходила конденсация паров масла. [c.418]

Высокий вакуум в течеискателе МХ1102 обеспечивается паромасляным диффузионным насосом НВО-40М с заливкой жидкого азота в вымораживающую ловушку. Насос охлаждается вентилятором и имеет маслоотражатель для уменьшения количества масляных паров, проникающих в вакуумную систему из насоса. Для создания высокого вакуума в течеискателе МХПОЗ используют механический двухроторный двухступенчатый насос ДВН-5-2, не требующий применения ловушек с жидким азотом. [c.62]

Она навита таким образом, что вращение вала увеличивает натяг. Пространство между валом и крышкой С заполнено маслом апиезон. Для охлаждения в крышке предусмотрена водяная канавка. При вращении вала со скоростью 600—900 об1мин в камере объемом 1,5 л, откачиваемой паромасляным диффузионным насосом производительностью 30 л/мин, поддерживается давление 2 10 мм рт. ст. [c.204]

Кривая испарения индивидуального вещества с гладкой поверхности стекла, как показывает рис. 3, состоит из двух частей кривой давления насыщенных паров данного вещества и слабо выпуклой кривой, обусловленной десорбцией вещества с поверхности конденсации, причем обе эти части разделены резким переходом. Количество десорбированного вещества не зависит для всех исследованных углеводородов от молекулярного веса углеводорода, а также агрегатного состояния пленки в момент окончания испарения и соответствует средней толщине адсорбированной пленки около 40 А. Если поверхность стекла загрязнена масляной пленкой (например, после длительной откачки паромасляным диффузионным насосом) или если в системе имеются следы паров воды (что наблюдается, если измерительную часть системы не прогреть после кратковременного напуска в нее воздуха), то переход теряет резкость. Присутствие следов паров воды, помимо скруглепия ступеньки, сказывается еще и в появлении характерного всплеска на кривой испарения при температуре от минус 80 до минус 70 . [c.228]

О высоковакуумных ловушках к паромасляным диффузионным насосам см. Б а р ы ш о в а Н. М.. Приб. и техн. экспер., Л 6, 139 ( 965) РЖХим. 1964. 14Д25. [c.342]

В качестве рабочего вещества для насосов этого типа Бэрч [72] воспользовался высококипящими производными нефти и получил разрежение порядка 10 бара. Хайк-мэн и Сэнфорд [73] применили дибутиловый эфир фталевой кислоты и бутилбензоловый эфир той же кислоты. Геде рекомендует применение апьезонова масла , но считает, что ещё лучше рафинированное в течение нескольких дней на насосе машинное масло [74]. В настоящее время, в паромасляных диффузионных насосах приме- М [c.41]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология