Монтаж сенсоров

Каждая лаборатория опять-таки использует свою компоновку и свои способы выполнения операций монтажа (установку подложки и проводов, герметизацию) сенсоров на основе ХЧПТ. На рис. 26.11 представлена конструкция сенсора, использовавшегося автором этого обзора в большинстве своих работ [6]. Опорой кристалла с микросхемой (7) является стеклянная трубка наружным диаметром 3 мм. В трубке размещен изолированный медный провод (2), согнутый у одного конца под [c.397]

Хо и другие [7] описали технологию монтажа ХЧПТ, которую в принципе можно автоматизировать. Как упоминалось выше, автоматизация операции герметизации позволила бы значительно снизить стоимость сенсоров ХЧПТ и тем самым сделать их производство экономически выгодным. Эта технология схематично представлена на рис. 26.12. Кристалл с микросхемой устанавливают на подложке (полиимидной ленте), после чего на него накладывают вторую полиимидную ленту с медными выводами, которые затем соединяют с контактными площадками микросхемы с помощью ультразвуковой или термокомпрессионной сварки. Наконец, накладывают третью полиимидную ленту с окнами ее прочно скрепляют с поверхностью кристалла так, что весь кристалл оказывается герметизированным, за исключением химически чувствительных затворов ПТ. Пока что описанные операции выполняют вручную под микроскопом, но в принципе весь описанный процесс можно автоматизировать. [c.399]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология