Испарители с электронно-лучевым нагревом

Та Электронно-лучевой нагрев (вакуумный испаритель), вероятно, выше 2000 700 В основном поликристаллические пленки 10 мм рт. ст. [21] [c.243]

Процесс испарения и качество нанесенных пленок в значительной мере определяются типом и конструкцией испарителей, которые могут иметь резистивный или электронно-лучевой нагрев. Выбор типа испарителя зависит от вида испаряемого материала, его агрегатного состояния и температуры в процессе испарения, а также других факторов. [c.31]

Справочник химика 21