Контроль состава остаточной атмосферы

Для понимания и контроля механизмов взаимодействия остаточных газов с процессами роста тонких пленок часто необходимо знать не только общее давление, но и состав атмосферы остаточных газов в системе. Сведения о парциальных давлениях отдельных газов важны также и для распознавания вклада процесса обратного потока паров из насоса, для идентификации источников выделения газа, для выяснения влияния того или иного газа на свойства пленок и для оценки эффективности таких процедур, как прогрев или очистка подложки в тлеющем разряде. [c.331]

При проведе1ши технологических процессов нанесения тонких пленок следует контролировать не только вакуум в рабочей камере, но и состав остаточной атмосферы. Приборами для контроля состава остаточной атмосферы, называемыми масс-спектрометрами, в настоящее время оснащается любое вакуумное технологическое оборудование для нанесения тонких пленок. [c.76]