Обратный поток паров масел вакуумных

Ловушка представляет собой систему охлаждаемых перегородок типа жалюзи, расположенных внутри вакуумной коммуникации и закрывающих прямой путь потоку на этих перегородках происходит конденсация обратного потока паров масла из диффузионного насоса. [c.383]

В качестве рабочей жидкости во вращательных масляных насосах используются либо минеральные масла, либо дифениловые эфиры со сравнительно высоким давлением паров (от 10 до 10 мм рт. ст) прн 50 С. Однако в процессе работы обратный поток паров масла из механических насосов увеличивается из-за постепенного разложения жидкости [9]. Эти пары через линию предварительной откачки могут проникать в вакуумную камеру и загрязнять ее внутренние стенки (10). Поэтому в механических насосах предлагалось использовать масло с низким давлением паров, применяемое для диффузионных насосов [11]. [c.182]

Охлаждаемые вакуумные ловушки. Пароструйные диффузионные вакуумные насосы до сих пор служат одним из основных средств откачки. Эти приборы обладают, к сожалению, существенным недостатком — наличием большого обратного потока паров масла, что загрязняет откачиваемый объем и недопустимо для многих технологических процессов в вакууме. Один из надежных путей существенного уменьшения обратного потока масляных паров — использование ловушек, охлаждаемых жидкими криоагентами (чаще всего жидким азотом). [c.383]

Прохождение через систему больших количеств газа при относительно высоком давлении является все же тяжелой нагрузкой для большинства насосов. Ионные вакуумные насосы, например, не подходят для систем ионного распыления, за исключением систем низкого давления. В установках для ионного распыления наиболее широко используются диффузионные насосы, которые можно считать вполне пригодными, если в них отсутствует значительный обратный поток паров диффузионного масла. Двумя основными критериями, определяющи.ми скорость обратного потока паров в диффузионном насосе при данных давлении и скорости откачки, являются наибольшее выпускное давление и пропускная способность (более подробно [c.425]

К вакуумным маслам предъявляется ряд особых требований, важнейшее из которых — низкое давление паров в интервале температур у входного патрубка насоса. Естественно, чем выше температура масла и поверхностей в районе входного патрубка, тем более интенсивным будет обратный поток масляных паров. Другим важным требованием является высокая термическая стабильность и слабая химическая активность масла. Во время работы насоса вследствие высокой температуры и соприкосновения масла с металлами и газами может происходить разрушение и частичное разложение его макромолекул. Образующиеся при этом [c.4]

Вакуум в изолирующем пространстве обоих сосудов получался с помощью масляного диффузионного насоса номинальной производительностью 260 л/сек в сочетании с форвакуумным насосом и обычной вакуумной системой. 840-литровый сосуд предназначался для работы при наружной температуре до -Ь50°С. При этой температуре наблюдался значительный обратный поток масляных паров из диффузионного насоса. Во избежание конденсации масла на холодных полированных поверхностях и ухудшения их отражательной способности в линии откачки была установлена ловушка, охлаждаемая за счет контакта с азотным экраном. [c.420]

Скорости конденсации масла вследствие обратного потока его паров в некоторых вакуумных системах [c.192]

Проблема обратного потока паров масла обычно решается установкой ловушек на линии предварительной откачки. Они могут действовать либо за счет коденсации паров на поверхностях, охлаждаемых жидким азотом, либо за счет адсорбции на поверхностно-активных материалов. Устройство адсорбционной ловушки в линии предварительной откачки показано на рис. 3. Для восстановления адсорбционной емкости сорбирующего материала ловушка должна периодически прогреваться. Холлэнд с сотрудниками [13 14]. провели сравнительные испытания на откачку для сист< м с ловушка.ми различных типов. Они обнаружили, что без ловуи ки скорость обратного натекания оказалась порядка 10 г см- с . Ловушка на жидком азоте уменьшила скорость натекания до значения, меньшего 0,1% ее величины для случая отсутствия ловушки. Адсорбционные ловушки на основе окиси алюминия оказались лучшими сравнительно с ловушками на основе цеолита или гранул активизированного древесного угля. Они сокращают обратное натекание на 99%, уменьшая при этом на 10—20% быстроту откачки. Как оказалось, при использовании для поддержания рабочего режима диффузионного насоса вращательного масляного насоса, пары последнего достигают вакуумной камеры, распро- [c.182]

Использование геттеро-ионного насоса вместо диффузионного не приводит к заметному изменению рабочих характеристик разборных вакуумных систем. Так, Касуэллу [79] с помощью ионно-распылительного насоса и ловушки Мейснера удалось снизить предельный вакуум всего лишь до 2 10 мм рт. ст. Получившийся в результате состав атмосферы остаточных газов был таким же, что и в случае использования диффузионного насоса. Мейнард [291] для откачки прогреваемой до 100 С внутренними нагревателями разборной системы применил ионно-испарн-тельный насос. Ему удалось достигнуть разрежения около 3 10 мм рт. ст., причем основными газами в остаточной атмосфере были СО, Nj. Аг, На, СН4 и HjO в соотношении, зависящем от рабочих условий. Некоторым преимуществом системы этого типа является отсутствие других, кроме метана, углеводородов. Однако при наличии в системе тлеющего разряда или электронного луча даже небольшой обратный поток паров масла из диффузионного насоса может приводить к постепенному накапливанию пленок твердого полимера или сажи. [c.297]

Обратный поток паров рабочей жидкоств. Вопреки ожиданиям бы ло обнаружено, что предельный вакуум, достигаемый диффузионными насосами, ниже давления паров масла, соответствующего температуре верхней части насоса. Альперт [32] обнаружил, что в интервале давлений ог 10 до 10- мм рт. ст. диффузионные насосы выделяют столько же примеспых газов, сколько они откачивают. Даже если пары примесей не перенасыщены по отношению к температурам вакуумной камеры, то при [c.186]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология